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  • 2016年中国MEMS传感器产业概况及市场规模预测

    2016/6/26 10:45:31 来源:中国产业发展研究网 【字体: 】【收藏本页】【打印】【关闭

    核心提示:一、MEMS传感器产业概况1、MEMS基本构成MEMS,(Micro-Electro Mechanical Systems),也称为微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀
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