2014年我国硅抛光片行业生产总量达458.1百万平方英寸，2015年硅抛光片行业生产总量达519.0百万平方英寸，同比增长11.73%。

2009-2015年硅抛光片行业生产总量及增速

年份
产量：百万平方英寸
同比增长：%
2009年
274.6
-3.93%
2010年
268.2
-2.39%
2011年
308.4
13.04%
2012年
345.5
10.74%
2013年
401.4
13.93%
2014年
458.1
12.38%
2015年
519.0
11.73%

资料来源：公开资料整理