聚焦超纯水系统核心技术,GOALPURE为“芯”护航

这意味着美国对我国在芯片领域的打压还会持续加码,国芯自强将是芯片板块的长期主线。事实上,国产芯片近年来取得长足发展,尤其是与芯片生产息息相关的超纯水领域。国内领先的超纯工艺技术企业,立足自身在芯片、显示等半导体高端制造行业超纯水领域二十多年的超纯工艺经验和技术能力,专注于超纯水与循环再生解决方案中的关键工艺产品及化学药剂的研发、推广和应用,推出了产品独立子品牌GOALPURE,致力于持续优化并赋能领先的超纯水与循环再生解决方案及装备,为客户创造洁净、可持续的水环境。

创新反渗透膜元件

反渗透技术是超纯水制造过程的核心技术之一,GOALPURE品牌聚焦于半导体超纯水反渗透技术,定制研发并生产了更加精准、稳定、通量更高、能耗更低的GOALPURE系列反渗透膜元件。系列包括低压反渗透膜元件、低压高脱盐率反渗透膜元件、超低压高脱盐率反渗透膜元件、抗污染反渗透膜元件、增强型抗污染反渗透膜元件、废水回用抗污染反渗透膜元件和低能耗抗污染反渗透膜元件,多角度满足半导体超纯水系统对反渗透膜的高端要求。

面对半导体超纯水系统实际运用场景,GOALPURE系列反渗透膜元件产品膜片在制备过程中,通过改善聚酰胺层结构的界面聚合过程单体扩散速度,强化脱盐层结构,脱盐层厚度由常规约150nm提高至约300nm,在大幅提高产品稳定性的同时,提高膜片耐化学清洗性能。为满足半导体超纯水系统的高端要求,GOALPURE系列反渗透膜元件产品优化了原料及工艺,对Cl-、NO3-、HCO3-、硼等杂离子和TOC的脱除率均优于进口对标产品。此外,GOALPURE系列反渗透膜元件对异丙醇、甘氨酸、葡萄糖等有机物脱除率较进口对标产品更高,在不同pH值条件下都有一致甚至更优的性能,且在酸性、低压、高温、高盐条件下性能领先。

定制超纯水用树脂系列产品

GOALPURE超纯水处理专用树脂系列产品,定向满足了半导体超纯水离子交换工艺中对树脂高交换容量、窄粒径分布、化学物理稳定性极佳、抗渗透冲击性出色的高端技术要求。系列拥有品系丰富的水处理系列树脂,涉及阴阳离子交换树脂、混床树脂、抛光树脂等不同类型、不同级别和不同规格;

为更好的满足半导体超纯水系统的实际需求, GOALPURE树脂系列产品使用均粒白球生产技术。相对于常规树脂,产品具有使用寿命长,痕量离子去除效果好,洁净度高等优势,达到进口对标产品同一水平。该系列的2B3T树脂相较于进口对标产品拥有更高的体积全交换量和磨后圆球率、更快的精度提升、更大的制水量、更优的处理精度以及一致甚至更优的抗氧化性,满足2B3T系统长周期、复杂工况运行要求;该系列的混床树脂实测性能指标如体积全交换量、均一系数等优于国外竞品;抛光树脂满足高端面板级超纯水应用要求,经过长时间生产、运行、验证,完全具备国外同等产品替代能力

升级气液分离膜接触器

依托膜组件“编织+布水管+挡板”的核心独特结构,GOALPURE气液分离膜接触器为半导体行业定制研发并制造,完成传统技术无法实现的高精度吸收和解析,持续满足泛半导体超纯水脱氧、脱碳等膜脱气应用向高功效、低能耗不断演进的技术要求。气体在水中的溶解度相差非常大,即使是氧气和二氧化碳,溶解度也相差30~40倍。因此GOALPURE针对不同溶解度的气体,结合半导体行业实际应用场景,开发了专用于半导体超纯水系统氧气脱除和二氧化碳脱除的两个气液分离膜接触器子系列。

GOALPURE气液分离膜接触器具有编织、中心管布水、挡板等独特结构,传质KA值达到塔器的10倍以上,膜材料两侧的气体浓度可以做到几乎相等,进而完成传统的塔法等气液接触技术无法实现的高精度吸收和解析。

迭代水处理药剂系列产品

水处理药剂产品是半导体超纯水系统运维服务的关键,GOALPURE水处理药剂系列产品适配了更加精准、更加稳定的药剂配方,持续满足半导体超纯水运维中高端工艺和技术演进的要求。该系列产品专注于半导体水处理化学药剂使用的特殊行业属性,联合研发并定制半导体制程过程中必不可缺的水处理化学药剂及相关解决方案,不断应对半导体生产高速增长、特别是高阶制程带来的多样化、高挑战的应用需求。

目前,GOALPURE水处理药剂系列产品涵盖阻垢剂、非氧化杀菌剂和清洗剂,为半导体超纯水日常运维服务中核心工艺之一的反渗透系统,提供了更加适合、更加稳定药剂配方,满足最优化的运维服务。

芯片产业是一个国家高端制造能力的综合体现,中国芯片突围仍在奋力进行。在不远的未来,GOALPURE系列产品还将通过自研或联合研发的方式,推出紫外线装置系列产品,电渗析(EDI)系列产品等超纯水与循环再生解决方案中的关键工艺产品,在超纯水领域为中国芯片添砖加瓦。国芯自强,指日可待!